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蓝宝石基单晶金刚石半导体材料制备、大尺寸晶圆高效超精密制造工艺及装备-审批信息

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信息时间:
2024-07-12
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工程代码 ZJM******36 中央代码 2407-350211-06-02-625190
项目名称 蓝宝石基单晶金刚石半导体材料制备、大尺寸晶圆高效超精密制造工艺及装备
项目(法人)单位 ******有限公司 建设性质 扩建
建设详细地址 福建省厦门市集美区灌口大道253号10号楼801室
主要建设内容及规模 项目位于厦门汽车工业城零部件配套中心(四期),建筑面积3000.0平方米,用地面积3000.0平方米, 本项目位于厦门汽车工业城零部件配套中心(四期),总建筑面积3000平方米,租赁面积3000平方米,用于4英寸以上金刚石半导体晶圆材料的批量生产,可以实现年产4英寸蓝宝石基单晶金刚石半导体衬底2000片。新增设备:微波等离子体化学气相沉积设备20台、冷水机20台、研磨机10台、抛光机20台。新增投资金额8000万,项目资金以企业自筹为主。, 单晶金刚石半导体晶圆材料制备尺寸≥4英寸,实现4英寸以上金刚石半导体晶圆材料的批量生产,可以实现年产4英寸单晶金刚石半导体衬底2000片。
项目总投资(万元) 8000(其中土建投资:0,其他投资:3000,设备及技术投资:5000,进口设备、技术用汇: 0)
拟开工时间 2024-10 拟建成时间 2025-12
符合产业政策的申明 我公司已确认,所备案项目不属于《产业结构调整指导目录》或《外商投资产业指导目录》中的限制类或禁止类项目,不属于我市核准目录中应办理核准的项目。特此声明。
补充说明
备案号 厦集科工投备[2024]011号 备案日期 2024-07-12
备案机关 厦门市集美区科技和工信局 备案事项 企业投资项目备案
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